Melola Discovery

← Melola Discovery

Jurnal

Identifikasi Gugus SiHx (x=1,2 dan 3) pada Silikon Berpori dari Substrat Si (111) Tipe-P

Jurnal Aplikasi Fisika · Vol. 10 No. 1 (2016)

ISSN
1858-4020
Published
2016-11-05
Publisher
Universitas Halu Oleo
Language
eng

Abstract

Telah dilakukan identifikasi gugus fungsional SiHx (x = 1, 2, 3) pada silikon berpori Si (111) type p dengan menggunakan spektrofotometer Fourier Transform Infared (FTIR). Sample dibuat dengan cara anodisasi wafer silikon dalam larutan asam hidroflour (HF) dengan resistivitas substrat 0,3 ohm-cm. Pengaruh konsentrasi larutan HF dan waktu anodisasi terhadap gugus fungsional permukaan silikon berpori kemudian dievaluasi. Konsentrasi larutan HF divariasikan pada 10%, 20%, 30%,dan 40%, dan waktu anodisasi divariasikan pada 10, 20, 40, dan 60 menit untuk tiap konsentrasi. Selama proses anodisasi digunakan magnetik stirer untuk menjaga homogenitas larutan. Hasil FTIR menunjukan gugus SiH ditemukan pada daerah serapan 2112-2100 cm-1, 920-890 cm-1 dan 856 cm-1 untuk semua konsentrasi HF. Sementara semakin lama waktu anodisasi semakin berkurang gugus SiH yang terbentuk. Mekanisme ini dapat digunakan untuk mengontrol pembentukan pori dalam wafer silikon.

Collaboration network of the authors

14 authors · 23 co-authorship links

Hover or tap a name to highlight its co-authors. Double-click to open the author's page.

  • Affiliation unknown
  • Different organisations
  • Same organisation
  • Affiliation unknown
  • Thicker line = more joint articles · bigger circle = more articles
Show as table
Co-authorOrganisationJoint articles
Mashuni -Affiliation unknown2
E.S. HasanAffiliation unknown2
Gangganora A.S.Affiliation unknown2
L. LestariAffiliation unknown1
R. RiwasaAffiliation unknown1
P.E. SusilowatiAffiliation unknown1
E. SafitriAffiliation unknown1
A. ZaeniAffiliation unknown1
Arisona .Affiliation unknown1
Musta C.Affiliation unknown1
M. Zamrun FAffiliation unknown1

Affiliations come from OpenAlex; journal OAI-PMH metadata carries none. Authors without an OpenAlex ID are matched by name, which can merge or split people.

Metadata source: OAI-PMH (metadata jurnal) https://ojs.uho.ac.id/index.php/JAF/oai, first harvested 30 Okt 2026, last seen 1 Nov 2026.
Original metadata (oai_dc) 
<oai_dc:dc xmlns="http://www.openarchives.org/OAI/2.0/" xmlns:dc="http://purl.org/dc/elements/1.1/" xmlns:oai_dc="http://www.openarchives.org/OAI/2.0/oai_dc/" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xsi:schemaLocation="http://www.openarchives.org/OAI/2.0/oai_dc/  http://www.openarchives.org/OAI/2.0/oai_dc.xsd">
	<dc:title xml:lang="en-US">Identifikasi Gugus SiHx (x=1,2 dan 3) pada Silikon Berpori dari Substrat Si (111) Tipe-P</dc:title>
	<dc:creator>M., Anas</dc:creator>
	<dc:creator>Sudiana, I. N.</dc:creator>
	<dc:creator>M., Jahiding</dc:creator>
	<dc:description xml:lang="en-US">    Telah dilakukan identifikasi gugus fungsional SiHx (x = 1, 2, 3) pada silikon berpori Si (111) type p dengan menggunakan spektrofotometer Fourier Transform Infared (FTIR).  Sample dibuat dengan cara anodisasi wafer silikon dalam larutan asam hidroflour (HF) dengan resistivitas substrat 0,3 ohm-cm. Pengaruh konsentrasi larutan HF dan waktu anodisasi terhadap gugus fungsional permukaan silikon berpori kemudian dievaluasi. Konsentrasi larutan HF divariasikan pada 10%  , 20%, 30%,dan  40%, dan waktu anodisasi divariasikan pada 10, 20, 40, dan 60 menit untuk tiap konsentrasi. Selama proses anodisasi digunakan magnetik stirer untuk menjaga homogenitas larutan. Hasil FTIR  menunjukan gugus SiH ditemukan pada daerah serapan 2112-2100 cm-1, 920-890 cm-1 dan 856 cm-1 untuk semua konsentrasi HF. Sementara semakin lama waktu anodisasi semakin berkurang gugus SiH yang terbentuk. Mekanisme ini dapat digunakan untuk mengontrol pembentukan pori dalam wafer silikon.</dc:description>
	<dc:publisher xml:lang="en-US">Universitas Halu Oleo</dc:publisher>
	<dc:contributor xml:lang="en-US"></dc:contributor>
	<dc:date>2016-11-05</dc:date>
	<dc:type>info:eu-repo/semantics/article</dc:type>
	<dc:type>info:eu-repo/semantics/publishedVersion</dc:type>
	<dc:type xml:lang="en-US"></dc:type>
	<dc:format>application/pdf</dc:format>
	<dc:identifier>https://ojs.uho.ac.id/index.php/JAF/article/view/1504</dc:identifier>
	<dc:source xml:lang="en-US">Jurnal Aplikasi Fisika; Vol 10, No 1 (2014): JURNAL APLIKASI FISIKA</dc:source>
	<dc:source>1858-4020</dc:source>
	<dc:language>eng</dc:language>
	<dc:relation>https://ojs.uho.ac.id/index.php/JAF/article/view/1504/1059</dc:relation>
	<dc:rights xml:lang="en-US">Copyright (c) 2016 Jurnal Aplikasi Fisika</dc:rights>
</oai_dc:dc>